潔凈室靜電的危害和消除靜電的方法

A、靜電的危害

1、靜電產(chǎn)生電場能擊穿電子和微電子產(chǎn)品；靜電放電產(chǎn)生電磁波會引起電子儀器的吳動作，放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。

2、潔凈室的靜電聚集放電會誘發(fā)引起火災(zāi)和爆炸，影響潔凈室的安全。因為潔凈室內(nèi)生產(chǎn)會使用大量的易燃易爆的氣體、溶劑和有機物，潔凈室封閉性很強，人員疏散較困難，若造成火災(zāi)，損失更大。

B、靜電的起因

由于某種原因引起電荷移動，正負電荷失去平衡，這樣物體就帶有靜電，造成電荷移動的因素主要有：（1）接觸帶電：其中還包括有摩擦帶電、滾動帶電、剝離帶電、噴射帶電等；（2）感應(yīng)帶電；（3）流動帶電；（4）電暈帶電。

C、防靜電措施

1.1潔凈室圍護的防靜電。即用高導(dǎo)電材料來建造潔凈室的圍護（墻、頂、地）。地面要采用電阻值為104~106Ω導(dǎo)靜電材料或電阻值為106~109的抗靜電材料制作，并要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為106~108的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作，并要有良好的接地。

1.2人員的防靜電。潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服，在衣服的織物中加入金屬纖維、碳素纖維等導(dǎo)電材料。必要時作業(yè)人員手腕上佩戴接地腕環(huán)。

1.3生產(chǎn)工藝允許時，還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對濕度的辦法，來消除靜電。